




實(shí)驗(yàn)室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無(wú)縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對(duì)氣體純度要求不是太嚴(yán)格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導(dǎo)電線路同架鋪設(shè)。
3、易1燃?xì)怏w,如乙1炔需要和其他氣體分開(kāi)單獨(dú)引入。氫氣管道若與其他可燃?xì)怏w管道平行敷設(shè)時(shí),其間距不應(yīng)小于0.5M;交叉敷設(shè)時(shí)間距不應(yīng)小于0.25M。分層敷設(shè)時(shí)氫氣管道應(yīng)位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過(guò)濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨(dú)的閥門隔離,以方便對(duì)過(guò)濾裝置進(jìn)行維修。
5、高純氣體管路的連接為無(wú)縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時(shí)才可以使用接頭配件。
6、每個(gè)實(shí)驗(yàn)室都要有單獨(dú)的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺(tái)的氣體管路要安裝單獨(dú)的控制閥。工作臺(tái)上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑,設(shè)置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進(jìn)行鍍鋅防腐處理。
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過(guò)三十余種,按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。④為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器,在排入大氣的排氣管道上,為防止排氣時(shí)突遇雷電襲1擊阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒爆1炸事故,必須在排氣管道上設(shè)置阻火器。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。
特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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特氣系統(tǒng)知識(shí)分享:一般混合氣體
由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標(biāo)出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。
對(duì)氣體分析儀用氣體,如含氫10%,其余是氦的混合氣以及含甲1烷5%或10%;含氫40%,其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測(cè)儀的燃料氣。
在測(cè)定放1射性物質(zhì)時(shí),使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%,或含丙烷1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以氦為底氣。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%~16%,N210%~25%,其余是氦。
光化學(xué)反應(yīng)、動(dòng)植物實(shí)驗(yàn)室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關(guān)系到公害問(wèn)題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
試驗(yàn)室集中供氣系統(tǒng)的特點(diǎn)
1、特點(diǎn):試驗(yàn)室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗(yàn)室選用的分析設(shè)備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟(jì)性:建一個(gè)集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗(yàn)室空間,更換氣瓶時(shí)不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應(yīng)。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因?yàn)槭褂猛粴怏w的所有使用點(diǎn)來(lái)自于同一個(gè)氣源。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。此種供應(yīng)方式終會(huì)減少運(yùn)輸費(fèi)用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。
3、使用率:集中管道供應(yīng)系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點(diǎn)處,這樣的話可以更合理的設(shè)計(jì)工作場(chǎng)所。
4、安全性:保證其儲(chǔ)存和使用的安全性。保障分析測(cè)試人員在實(shí)驗(yàn)中免受有毒有害氣體的侵害。
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